無需手動(dòng)脈沖調(diào)整即可實(shí)現(xiàn)高脈沖保真度

通過 2601B-PULSE 控制回路系統(tǒng)，高達(dá) 3μH 的負(fù)載變化無需手動(dòng)調(diào)整，從而確保在任何電流水平（ 10 安培）下輸出 10 μs 至 500 μs 脈沖時(shí)，脈沖均不會(huì)出現(xiàn)過沖和振蕩。脈沖上升時(shí)間 < 1.7 μs，確保您可以正確檢定被測(cè)器件或電路。

• 輸出 10 A @ 10 V，脈沖寬度為 10 μs
• 脈沖上升時(shí)間 <1.7μs，可輕松檢定
• 高保真脈沖輸出，在任何電流水平下均無需調(diào)整

將快速脈沖發(fā)生器功能與 SMU 功能集成至一臺(tái)儀器中

2601B-PULSE 在業(yè)界的吉時(shí)利 2601B SMU 儀器所提供的測(cè)量完整性、同步性、速度和準(zhǔn)確性基礎(chǔ)上新增脈沖發(fā)生器功能。

• 通過 1 MS/s 的數(shù)字化功能，實(shí)現(xiàn)脈沖發(fā)生器 0.05% 的基本測(cè)量精度
• SMU 100 nA 低電流范圍與 100 fA 靈敏度
• 后面板 BNC 連接實(shí)現(xiàn)電纜快速設(shè)置

嵌入式腳本和連接提供的生產(chǎn)吞吐量

測(cè)試腳本處理器 (TSP®) 技術(shù)可在 SMU 儀器內(nèi)嵌入和執(zhí)行完整測(cè)試程序，提供業(yè)界性能。TSP-Link® 技術(shù)支持?jǐn)U展多達(dá) 32 個(gè) TSP 鏈路節(jié)點(diǎn)，以創(chuàng)建高速、SMU-Per-Pin 并行測(cè)試（而不使用主機(jī)）。

• 消除與 PC 之間耗時(shí)的總線通信
• 高級(jí)數(shù)據(jù)處理和流量控制
• 連接多達(dá) 32 個(gè) TSP 鏈路節(jié)點(diǎn)
• 隨著測(cè)試要求變化輕松重新配置

ToF/LIDAR 應(yīng)用的激光二極管 (VCSEL) 生產(chǎn)測(cè)試

2601B-PULSE 是激光二極管垂直腔表面發(fā)射激光器 (VCSEL) LIV 生產(chǎn)測(cè)試的理想解決方案，采用高速高精度 10μs 脈沖發(fā)生器和 SMU，可用于 VCSEL、VCSEL 陣列和激光二極管模塊的電流脈沖源和電壓-電流監(jiān)測(cè)。SMU 提供實(shí)惠的 LIV 儀器，系統(tǒng)同步和吞吐量高。

• 可編程脈沖電流源可達(dá) 10 A 電流和 10 µs 脈沖寬度
• 電壓和電流測(cè)量分辨率為 100 nV 和 100 fA
• 內(nèi)置 TSP® 處理功能可減少 PC和儀器總線通信

如何使用 2601B-PULSE System SourceMeter SMU 儀器生成 10 μs 脈沖 當(dāng)輸出低至 10 µs 的脈沖時(shí)，新型電流脈沖發(fā)生器/SMU 無需耗時(shí)的手動(dòng)計(jì)時(shí)

故障分析和質(zhì)量保證

半導(dǎo)體公司和半導(dǎo)體研究人員不斷尋找方法，使測(cè)試設(shè)備不會(huì)成為其在半導(dǎo)體領(lǐng)域有所突破的阻礙。半導(dǎo)體故障分析 (FA) 工程師耗時(shí)無數(shù)，試圖了解設(shè)備故障的原因及在將來如何預(yù)防。

• 通過 SMU 和脈沖測(cè)試簡化 FA 過程
• 數(shù)字 I/O 觸發(fā)外部 IR 攝像機(jī)
• 內(nèi)置定時(shí)器功能，分辨率為 1μs，精度為 ±100 ppm。

使用源測(cè)量單元和鎖定熱成像技術(shù)進(jìn)行故障分析的技術(shù)

簡化的 LED 脈沖式/直流 I/V 檢定

2601B-PULSE 的電流脈沖、直流電壓和電流功能可實(shí)現(xiàn)高速 LED 直流和脈沖 IV 檢定及生產(chǎn)測(cè)試，具有 0.015％ 的基本測(cè)量精度。對(duì) microLED、LED 或高亮度 LED (HBLED) 執(zhí)行脈沖測(cè)試可地減少自發(fā)熱，并減少對(duì)測(cè)量精度的負(fù)面影響，此外，無需擔(dān)心損壞被測(cè)器件。

• 可編程電流源可達(dá) 10 A 電流和 10 µs 脈沖寬度
• 電壓和電流測(cè)量分辨率為 100 nV 和 100 fA
• 1 M 樣點(diǎn)/秒數(shù)字化器，用于快速采集和測(cè)量數(shù)據(jù)
• 內(nèi)置 TSP 處理功能可減少 PC 儀器總線通信

晶圓半導(dǎo)體測(cè)試

Keithley 2601B-PULSE 和其他系列 2600B System SourceMeter® SMU 儀器將堆架式儀器的可擴(kuò)展性和靈活性與基于主機(jī)系統(tǒng)的集成和高吞吐量相結(jié)合，使用 TSP 和 TSP 鏈路技術(shù)減少制造活動(dòng)和測(cè)試成本。這些儀器通常用于激光二極管、LED、晶體管等晶圓半導(dǎo)體測(cè)試。

• 內(nèi)置 TSP 處理功能可減少 PC 儀器總線通信
• TSP-鏈路多達(dá) 32 臺(tái)儀器可在 500 ns 內(nèi)與其他 Keithley TSP 儀器同步

Keithley KickStart 儀器控制軟件。無需編程。

使用 KickStart 輕松進(jìn)行測(cè)量。 無需編程即可快速輕松地檢定您的設(shè)備和材料。 以圖形和表格格式顯示實(shí)時(shí)結(jié)果。 導(dǎo)出數(shù)據(jù)表或圖表，實(shí)現(xiàn)快速報(bào)告或在 Excel 中進(jìn)行其他分析。

• 快速創(chuàng)建單個(gè)或掃描脈沖測(cè)試
• 生成電壓和電流源的線性、日志、列表和雙重掃描，同時(shí)提供測(cè)量
• I-V 檢定應(yīng)用可支持多達(dá) 4 臺(tái)源測(cè)量單元 (SMU) 儀器
• GPIB、USB、Windows 操作系統(tǒng)上的以太網(wǎng)連接

立即下載 KickStart 并試用
Keithley KickStart 產(chǎn)品技術(shù)資料

從實(shí)驗(yàn)室到晶圓廠的自動(dòng)化控制

Keithley 自動(dòng)化檢定套件 (ACS) 可控制您的設(shè)備。無論您是需要控制工作臺(tái)上的幾臺(tái)儀器，還是需要自動(dòng)化整個(gè)測(cè)試機(jī)架以進(jìn)行生產(chǎn)，ACS 均能為設(shè)備檢定、參數(shù)測(cè)試、可靠性測(cè)試和簡單的功能測(cè)試提供靈活的交互式環(huán)境。

• 執(zhí)行簡單的一次性測(cè)試或構(gòu)建復(fù)雜的項(xiàng)目樹
• 在 ACS 中使用 Python 編寫代碼以獲得無限靈活性和控制力
• 手動(dòng)或自動(dòng)晶圓探測(cè)器控制
• 數(shù)據(jù)管理和統(tǒng)計(jì)分析功能

開始自動(dòng)化

免費(fèi)腳本開發(fā)環(huán)境可限度地提高儀器性能

Test Script Builder (TSB) 是一款軟件工具，可用于簡化 Keithley 的 Test Script Processor (TSP®) 所支持儀器測(cè)試腳本的構(gòu)建過程。

• 收發(fā)儀器的命令和響應(yīng)
• 創(chuàng)建、管理和運(yùn)行用戶腳本
• 調(diào)試腳本
• 導(dǎo)入工廠腳本進(jìn)行查看或編輯并轉(zhuǎn)換為用戶腳本

下載 TSB 軟件